Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80
上海伯东德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵. HiPace 80 对所有气体的高抽速和极高压缩比使其广泛应用于真空行业. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据保证分子泵的最高安全性. 涡轮分子泵 HiPace 80 可以任意位置安装. 自然风冷, 多种配件可选满足广泛应用.

分子泵应用 HiPace 80
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
上海伯东客户分子泵应用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.

上海伯东客户分子泵应用二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备

上海伯东客户分子泵应用三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔体

分子泵抽速 HiPace 80 对不同气体的抽速:

涡轮分子泵 HiPace 80 尺寸图: