上海伯东美国 HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用

上海伯东美国 HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用 文章来源：伯东企业（上海）有限公司

半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体,气体管路系统(真空管路)的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中!

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