HVA 真空阀门应用于E-Beam 镀膜机

HVA 真空阀门应用于E-Beam 镀膜机 文章来源：伯东企业（上海）有限公司

某知名品牌 Sputtering + E-Beam PVD 镀膜机系统采用 HVA 真空阀门 11000, HVA 真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.

HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:

阀门材质:
- 阀门主体	304 不锈钢
- 焊接波纹管轴封	AM - 350
阀门密封方式
- 高真空	氟橡胶
- 超高真空	铜垫圈 / 氟橡胶
真空:
- 压力范围	高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9 mbar l/S
- 差压关闭	1 bar ( 任意位置 )
- 开启前最大压力	≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）:
- 弹性体密封阀盖	150°C

E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子枪, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.

基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为最后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.

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