简述某管真空度的测定方法研究

简述某管真空度的测定方法研究 文章来源：中国开关网

　　[br]　　对于任何一个真空系统，抽气到一定时间必定达到某一稳定的真空度，即：dp/dt=0，这意味着，此时QD已小到可以忽略不计。令QL Qp Qv=Q，式（1）变为p=Q/ve（2）即容器中的真空度决定于泵对容器的有效抽速ve和不随时间变化的气体变化率Q，而泵对容器的有效抽速ve又与泵的抽速vp及与容器相连接的导管的通导C有关，即：ve=vpCvp C（3）一般地说，不论气体的流动状态是粘滞-分子流还是分子流，导管的内径大，通导就大，导管的内径小，通导就小。对于真空系统中使用的真空计规管，导管内径一般为1.4-1.6cm；[url=http://www.zjksks.com/]凯撒空压机[/url]真空开关管连接到真空系统上的导管，由于受其结构限制，不可能很大，一般直径只有0.16-0.18cm。所以，真空计规管的通导要比真空开关管的通导大得多，泵对真空计规管的有效抽速比对真空开关管的有效抽速大。通常真空开关管内的真空度要比真空计规管内的真空度低半个至1个数量级。用真空计规管内的真空度校准真空开关管内的真空度是不正确的，误差较大，用户的使用风险也较大。[br]　　样管法是将真空开关管的排气管接上经过校准的热阴极电离真空计规管，并经排气封离后，达到一定的真空度，作为样品管。用与在真空开关管上封接的热阴极电离真空计规管共同校准过的电离真空计测量其真空度，再将真空开关管作为冷阴极电离真空计的规管，用冷阴极电离真空计测出其放电电流，该放电电流对应于电离真空计测得的真空度比对后，作为冷阴极电离真空计的真空度。每种型号的真空开关管（外形尺寸及内部结构接近者除外）都要备有封接热阴极电离真空计规管的样品管。为使校准曲线较为精确[url=http://www.whxjclj.com]螺杆机组[/url]，需准备真空度为10-5，10-4，10-3Pa数量级的样品管各3只，且真空度数值在每一数量级中基本均布；4@10-26@10-2Pa样品管1只。样管法校准测量真空开关管真空度的冷阴极电离真空计的优点是热阴极电离计规管内的真空度与真空开关管内的真空度基本相同，不存在系统法中由于抽速不同而产生的电离计规管内真空度与真空开关管内部动态真空度的不同。样管法校准的缺点是需要一定数量的样品管。真空开关管的真空度是通过将真空开关管接成冷阴极电离真空计规管，用冷阴极电离真空计进行测量。应尽量排除影响测量准确性的因素。　[br]　　[br]　

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